直接位置反饋型電液伺服閥
直接位置反饋型電液伺服閥的主閥心與先導(dǎo)閥心構(gòu)成直接位置比較和反饋，其工作原理如圖12所示。圖12中，先導(dǎo)閥直徑較小，直接由動圈式力馬達的線圈驅(qū)動，力馬達的輸入電流約為0～±300mA。當輸入電流I=0時，力馬達繞組的驅(qū)動力Fi=0，先導(dǎo)閥心位于主閥零位，沒有運動；當輸入電流逐步加大到I=300mA時，力馬達線圈的驅(qū)動力也逐步加大到約為40N，壓縮力馬達彈簧后，使先導(dǎo)閥心產(chǎn)生位移約為4mm；當輸入電流改變方向，I=-300mA時，力馬達線圈的驅(qū)動力也變成約40N，帶動先導(dǎo)閥心產(chǎn)生反向位移約-4mm。上述過程說明先導(dǎo)閥心的位移x心與輸入電流I成比例，運動方向與電流方向保持一致。先導(dǎo)閥心直徑小，無法控制系統(tǒng)中的大流量；主閥心的阻力很大，力馬達的推力叉不足以驅(qū)動主閥心。解決的辦法是：先用力馬達比例地驅(qū)動直徑小的導(dǎo)閥心，再用位置隨動（直接位置反饋）的辦法讓主閥心等量跟隨先導(dǎo)閥運動，最后達到用小信號比例地控制系統(tǒng)中大流量之目的。
主閥心兩端容腔為驅(qū)動主閥心的對稱雙作用液壓缸，該缸由先導(dǎo)閥供油，以控制主閥心上下運動。由于先導(dǎo)閥心直徑小，加工困難，為了降低加工難度，可將先導(dǎo)閥上用于控制主閥心上下兩腔的進油閥口由兩個固定節(jié)流孔代替，這樣先導(dǎo)閥可看成是由兩個帶固定節(jié)流孔的半橋組成的全橋。為了實現(xiàn)直接位置反饋，將主閥心、驅(qū)動液壓缸、先導(dǎo)閥閥套三者做成一體，因此主閥心位移xP（被控位移）反饋到先導(dǎo)閥上，與先導(dǎo)閥套位移x套相等。當導(dǎo)閥心在力馬達的驅(qū)動下向上運動產(chǎn)生位移x心時，導(dǎo)閥心與閥套之間產(chǎn)生開口量x心-x套，主閥心上腔的回油口打開，壓差驅(qū)動主閥心自下而上運動，同時先導(dǎo)閥口在反饋的作用下逐步關(guān)小。當導(dǎo)閥口關(guān)閉時，主閥停止運動且主閥位移xP=x套=x心，反向運動亦然。在這種反饋中，主閥心等量跟隨先導(dǎo)閥運動，故稱為直接位置反饋。
圖13 (a)是DY系列直接位置反饋型電液伺服閥的結(jié)構(gòu)圖。上部為動圈式力馬達，下部是兩級滑閥裝置。壓力油由P口進入，A、B口接執(zhí)行元件，T口回油。由動圈7帶動的先導(dǎo)閥6與空心主滑閥4的內(nèi)孔配合，動圈與先導(dǎo)滑閥固連，并用兩個彈簧8、9定位對中、小滑閥上的兩條控制邊與主滑閥上兩個橫向孔形成兩個可變節(jié)流口11、12。P口來的壓力油除經(jīng)主控油路外，還經(jīng)過固定節(jié)流口3、5和可變節(jié)流口11、12，先導(dǎo)閥的環(huán)形槽和主滑閥中部的橫向孔到了回油口，形成如圖13 (b)所示的前置液壓放大器油路（橋路）。顯然，前置級液壓放大器是由具有兩個可變節(jié)流口11、12的先導(dǎo)滑閥和兩個固定節(jié)流口3、5組合而成的。橋路中固定節(jié)流口與可變節(jié)流口連接的節(jié)點a、b分別與主滑閥上、下兩個臺肩端面連通，主滑閥可在節(jié)點壓力作用下運動。平衡位置時，節(jié)點a、b的壓力相同，主滑閥保持不動。如果先導(dǎo)滑閥在動圈作用下向上運動，節(jié)流口11加大，12減小，a點壓力降低，6點壓力上升，主滑閥隨之向上運動。由于主滑閥又兼作先導(dǎo)滑閥的閥套（位置反饋），故當主滑閥向上移動的距離與先導(dǎo)滑閥一致時，停止運動。同樣，在先導(dǎo)滑閥向下運動時，主滑閥也隨之向下移動相同的距離，故為直接位置反饋系統(tǒng)。這種情況下，動圈只需帶動小滑閥，力馬達的結(jié)構(gòu)尺寸就不至于太大。
主閥心凸肩控制棱邊與閥體油窗口相應(yīng)棱邊的軸向尺寸是零開口狀態(tài)精密配合。在工作過程中，動圈的位移量、先導(dǎo)閥心的位移量與主閥心的位移量均相等，而動圈的位移量與輸入控制電流成比例，所以輸出流量的大小在負載壓力恒定的條件下與控制電流的大小成比例，輸出流量的方向則取決于控制電流的極性。除控制電流外，在動圈繞組中加入高頻小振幅顫振電流，可以克服閥心的靜摩擦，保證伺服閥具有靈敏的控制性能。
動圈滑閥式力馬達型兩級電液流量伺服閥的優(yōu)點是力馬達結(jié)構(gòu)簡單、磁滯小、工作行程大；閥的工作行程大、成本低、零區(qū)分辨率高、固定節(jié)流孔的尺寸大(直徑達0.8mm)、抗污染能力強；主閥心兩端作用面積大，加大了驅(qū)動力，使主閥心不易被卡阻。該閥價格低廉，工作可靠性高且便于調(diào)整維護，特別適合用于一般工業(yè)設(shè)備的液壓伺服控制。